Peiriant gorchuddio troelli

Sputtering amledd canolradd hefyd yn fath o sputtering magnetron.

Mae yna lawer o fathau o sputtering magnetron, y gellir eu rhannu'n sputtering magnetron DC, sputtering amledd radiomagnetron, a sputtering magnetron amledd canolradd yn ôl y ffynhonnell pŵer a ddefnyddir. Mae'r cyflenwad pŵer a ddefnyddir mewn sputtering magnetron DC yn gyflenwad pŵer foltedd uchel DC, fel arfer 300-1000 V, sy'n cael ei nodweddu gan gyfradd sputtering cyflym, cost isel, a chynnal a chadw rhad yn y cyfnod diweddarach. Fodd bynnag, dim ond targedau metel y gellir eu sputtered. Os yw'r targed yn insulator, wrth i'r sputtering fynd rhagddo, bydd y targed yn cronni swm mawr o dâl, gan arwain at anallu sputtering i barhau. Felly, defnyddir sputtering magnetron DC fel arfer ar gyfer targedau metel. Oherwydd ei strwythur cost isel a syml, fe'i defnyddir yn eang mewn diwydiant. Mae amlder y cyflenwad pŵer RF a ddefnyddir mewn sputtering magnetron RF fel arfer yn 13.56 MHz, a all ddatrys y broblem na all sputtering DC magnetron sputtering targedau inswleiddio. Nodweddion sputtering magnetron RF yw: gellir sputtered targedau insiwleiddio a thargedau metel, ac mae'r adlyniad rhwng y ffilm a'r swbstrad yn gryf. Fodd bynnag, oherwydd y strwythur a'r ddyfais gymhleth, pris uchel y cyflenwad pŵer RF, y gost cynnal a chadw uchel, yr ymbelydredd i'r corff dynol, a'r angen am rwydwaith paru allanol, nid yw'n addas ar gyfer cynhyrchu diwydiannol. Defnyddir sputtering magnetron amledd canolradd yn aml ar gyfer sputtering adweithiol i ffilmiau cyfansawdd premetal. Yn ogystal ag argon, mae swm bach o nwyon adweithiol megis nitrogen, ocsigen, ac ati yn cael eu hychwanegu at y ceudod i adneuo moleciwlau'r nwyon adweithiol hyn gydag atomau'r deunydd targed. ar y swbstrad i ffurfio ffilm cyfansawdd metel. Gan fod sputtering magnetron DC yn cael ei ddefnyddio'n helaeth mewn diwydiant, mae'r tabl sputtering magnetron yn cynnwys system gwactod, system cotio sputtering, system nwy a rheoli.

Cais

Paramedr

Ein cwmni

Tagiau poblogaidd: peiriant cotio sbin, Tsieina, cyflenwyr, gweithgynhyrchwyr, ffatri, addasu, prynu, pris, dyfynbris