Peiriant Cotio PVD Dur Di-staen

Mae offer cotio PVD yn ddyfais sy'n toddi ac yn anweddu alwminiwm metel ar dymheredd uchel o dan wactod uchel, fel bod anwedd alwminiwm yn cael ei ddyddodi ar wyneb y ffilm blastig, fel bod gan wyneb y ffilm blastig llewyrch metelaidd. Fel technoleg ar gyfer cynhyrchu ffilm benodol, mae gan dechnoleg cotio gwactod ystod eang o gymwysiadau mewn cynhyrchu a bywyd go iawn.

Yn y broses cotio sputtering magnetron, mae problemau unffurfiaeth trwch ffilm, ansawdd ffurfio ffilm, a chyfradd sputtering yn bryderus iawn mewn cynhyrchu ymarferol. Mae'r ffactorau sy'n effeithio ar sefydlogrwydd y prosesau hyn yn bennaf yn cynnwys pŵer sputtering, pwysedd nwy a phurdeb argon, pellter rhwng targed a swbstrad, cryfder a dosbarthiad maes magnetig, tymheredd a glendid y swbstrad, ac ati. Gall gwybod a meistroli'r ffactorau hyn helpu i ddod o hyd i'r achos a datrysiad y methiant.

1. Dylanwad pŵer sputtering

Bydd y cynnydd yn y pŵer sputtering yn gwella unffurfiaeth y trwch ffilm a'r gyfradd sputtering.With y cynnydd yn y pŵer sputtering, arwynebedd y plasma yn cynyddu, felly bydd unffurfiaeth yr haen ffilm yn cael ei wella. Gall y cynnydd mewn pŵer wella gradd ionization nwy argon, a chynyddu nifer yr atomau targed sputtered, a thrwy hynny gynyddu'r gyfradd sputtering. Mae'r atomau targed hyn yn cael eu hadneuo ar y swbstrad gydag egni uchel, felly gellir gwella'r adlyniad rhwng yr atomau targed a'r swbstrad a dwysedd y ffilm. Felly, mae ansawdd ffurfio ffilm y ffilm denau yn cael ei wella. Fodd bynnag, bydd pŵer rhy uchel yn achosi atomau i beledu'r swbstrad ag egni rhy uchel, a bydd yr electronau eilaidd hefyd yn cynyddu yn unol â hynny, a fydd yn achosi tymheredd y swbstrad i fod yn rhy uchel, a bydd yn lleihau ansawdd ffilm a chyfradd sputtering y ffilm.

2, effaith pellter sylfaen targed

Pan fo'r pellter targed-i-sylfaen yn fach, mae ansawdd y ffilm yn uchel ac mae'r gyfradd sputtering yn uchel, ond mae unffurfiaeth yr haen ffilm yn wael. Pan gynyddir y pellter targed-i-sylfaen, bydd ansawdd y ffilm a'r gyfradd sputtering yn cael ei leihau, a bydd unffurfiaeth y ffilm yn cael ei wella. Felly, mae pellter targed-i-sylfaen priodol yn ffactor pwysig i sicrhau sefydlogrwydd proses. Gan fod yr offer wedi'i osod gyda phellter sylfaen targed priodol yn y ffatri, ni fydd yn cael ei drafod yma.

Cais

Paramedr

Ein cwmni

Tagiau poblogaidd: peiriant cotio pvd dur di-staen, Tsieina, cyflenwyr, gweithgynhyrchwyr, ffatri, addasu, prynu, pris, dyfynbris